电子束缩小投影曝光机数字对准处理技术

摘要：

介绍电子束缩小投影曝光机对准系统的构成及原理,阐述数字处理技术在对准系统中的应用,以及对准数据的产生及数字处理的软件设计,并给出实际测试结果.

关键词：数字处理技术、电子束缩小投影曝光机、对准系统

分类号：TN305.7(半导体技术)

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：10-12,65