电子束背散射在胶层中的能量沉积

摘要：

模拟了散射电子在PMMA(聚甲基丙烯酸甲酯)电子束胶层中的能量沉积分布.在处理电子穿越衬底的边界时,采用了几率确定法,用以判断电子是否在界面处发生一次弹性散射.并完成了散射电子在电子束胶层中的前散射和背散射的能量沉积分布图.

关键词：电子束、能量沉积、几率法、散射

分类号：TN305.7(半导体技术)

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：6-9,26