基于MEMS的光开关研发与产业化问题

摘要：

针对MEMS光开关的相关技术问题,就国内外基于MEMS光开关的研发及其产业化概况以及我国与国外在该领域中存在的差距进行了阐述和分析.给出了加快我国基于MEMS光开关研发与产业化的几点建议.

关键词：光开关、微镜、MEMS、研发、产业化

分类号：TN915.0;TP271+.4:TN209

资助基金：国家重点基础研究发展计划973计划G1999033103

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：74-78