正面腐蚀方法制作新型微机械红外热堆探测器

摘要：

阐述了微机械制造工艺制作红外热堆探测器的方法,其采用新的正面湿法腐蚀的方法释放体硅,获得悬梁结构的红外热堆探测器.该探测器用LPCVD(低压化学气相沉积)氮化硅膜,与热氧化得到的氧化硅膜形成三明治结构作为热偶对的支撑结构;热偶材料采用多晶硅与金属.实验结果表明这是一种很有前景的制作方法.

关键词：微机电系统、红外热堆、正面腐蚀、各相异性腐蚀

分类号：TN215;TP271+.2(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家重点基础研究发展计划973计划G1999033101

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：61-64