PZT压电薄膜在MEMS中的应用

摘要：

从MEMS应用的角度介绍了PZT压电薄膜的制备、集成工艺与压电系数的测量,并给出了压电薄膜在MEMS中的应用实例.

关键词：MEMS、压电薄膜、PZT

分类号：TN304.055(半导体技术)

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：44-49