邻近效应校正函数及参数确定

摘要：

对高斯圆束矢量扫描作图邻近效应校正的函数进行了深入探讨,并在此基础上确定了函数中的各参数的算法.

关键词：高斯圆束、矢量扫描、邻近效应、背散射、前散射、临界剂量

分类号：TN305.7(半导体技术)

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：21-25,5