高斯圆束矢量扫描作图图形剂量计算方法

摘要：

使用改进的高斯圆束的能量分布密度函数,结合矢量扫描作图方式,推导出图形各关键位置的剂量计算公式,并使它们在图形邻近效应校正处理中得到实际应用.

关键词：高斯圆束、矢量扫描、邻近效应、背散射、前散射、能量分布密度函数

分类号：TN305.7(半导体技术)

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：16-20