基于PC机控制的电子束图形控制器

摘要：

介绍了新研制的以PC微机为控制机的电子束图形数字控制器的接口、结构、基本功能以及设计中应注意的主要环节.

关键词：电子束曝光机、图形发生器、计算机控制

分类号：TN305.7(半导体技术)

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：12-15