PDMS微小流路微加工技术的研究

摘要：

PDMS(Polydimethylsiloxane,聚二甲基硅氧烷)微小流路的微加工技术,由于具有加工周期短,加工成本低,可进行批量生产,易获得高深宽比的微小结构等特点,日益成为微小流路加工技术中一个研究热点.对PDMS微小流路的特性进行了分析,实验结果表明,该方法完全适用于μTAS系统及其他生物化学分析仪器中微小流路的加工.

关键词：PDMS(Polydimethylsiloxane、聚二甲基硅氧烷)、高深宽比、微小结构、微型全量分析系统(μTAS)、深层刻蚀工艺、微复制工艺

分类号：TN271(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：31-34