微光机电系统及其应用

摘要：

微光机电系统(MOEMS)是在微机电系统(MEMS)基础上发展起来的一种新技术系统,它是由微光学、微电子和微机械相结合而产生的一种新型的微光学结构系统,MOEMS在信息、军事、航天、医学、工业等领域有着广阔的应用前景,综述了近年来微光机电系统的发展和应用.

关键词：微光机电系统、微光学、微驱动器

分类号：TP271+@5(自动化技术及设备)

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：1-8