用于微器件制作的灰度掩模技术

摘要：

讨论了灰度掩模技术在凸及凹形微透镜、折衍射复合微透镜和微尖形阵列等器件制作方面的应用,给出了与几种典型的凸及凹形微透镜、折衍射复合微透镜和微尖形结构对应的灰度掩模板的设计实例及其应用,为灰度掩模技术制作微透镜器件及微尖形阵列奠定了基础.

关键词：灰度掩模、微透镜阵列、微尖形结构

分类号：TN305@7(半导体技术)

资助基金：中国博士后科学基金;湖北省自然科学基金2000JI50

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：71-75