EDS分析中微区法向的确定方法

摘要：

利用扫描电镜上安装的X线能谱仪,研究样品的微区法向不能准确确定时对定量分析结果准确性产生的影响程度,提出了一种确定样品微区法向的方法.实验表明该法有利于定量分析准确度的提高.

关键词：EDS、微分析、准确度、接收角

分类号：TN16(真空电子技术)

资助基金：云南省自然科学基金98A002G

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：53-56