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双重离子注入钢表面钝化层的形成和抗腐蚀特性

引用
利用金属离子与碳离子双注入可在金属表面形成陶瓷化的复合层,取得了抗腐蚀和抗磨损优良特性.研究了注入剂量和束流密度对这种复合层结构的影响,X射线分析结果表明,双注入可形成金属合金相和碳化物的钝化复合层.电化学测量和扫描电子显微镜观察表明,金属离子注入可明显地改善H13钢表面抗腐蚀特性,Mo+C和Ti+C双注入则比Mo和Ti单注入抗腐蚀和抗磨损效果好得多.碳和金属离子双注入顺序对腐蚀特性也有明显的影响,研究表明,先注入碳后注入金属效果更好.随束流密度的增大,改性效果增强.注入后退火可形成陶瓷化的复合层,抗腐蚀效果进一步得到提高.

双重离子注入、抗腐蚀、电化学测量、钢表面改性

TN305@3(半导体技术)

国家自然科学基金59671051;国家高技术研究发展计划863计划

2004-07-31(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共5页

27-31,75

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微细加工技术

1003-8213

43-1140/TN

2001,(2)

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