毛细管电泳芯片的制造

摘要：

研究了在平整的玻璃上制作微管道的方法和玻璃-玻璃键合技术：讨论了腐蚀条件对玻璃的腐蚀速率和微管道表面形貌的影响。玻璃键合采用热键合，键合温度为620℃，得到的键合面剪切强度为玻璃本身剪切强度的0.44倍。在电泳芯片上实现了样品的分离。

关键词：湿法刻蚀、键合、毛细管电泳芯片

所属期刊栏目：1

分类号：TN271+.4(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金29833070

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：62-66