纳米多层膜调制结构的成分分析法表征

摘要：

纳米多层膜的物理性能和力学性能的异常效应均与其调制结构有关。采用X射线能量分散谱仪(EDS)成分分析方法对不同调制周期和调制比的W/Mo纳米多层膜进行表征，并与透射电子显微分析(TEM)和x射线衍射分析(XRD)方法进行了比较。结果表明：采用EDS成分分析方法，可以表征纳米多层膜的调制比。EDS方法与XRD分析相结合，可以方便而准确地表征纳米多层膜的调制结构。

关键词：纳米多层膜、调制结构、表征方法、EDS

所属期刊栏目：1

分类号：H31;F27

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：57-61