微型隧道效应磁强计的设计和加工工艺研究

摘要：

介绍了一种新型的基于隧道效应的微型磁强计，对其关键工艺进行了分析和实验研究。利用薄片溶解工艺制作了大尺寸的薄膜(3mm×1mm)，并且在薄膜的两面都制作了图形结构，拓展了微机械工艺的加工能力

关键词：微机械、磁强计、隧道效应

所属期刊栏目：1

分类号：TP212.13(自动化技术及设备)

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：53-56