低失能近轴背散射电子的探测及应用

摘要：

介绍了扫描电镜中的一种背散射电子采集和测量系统，该系统能探测那些较低能量损失且散射角接近180°的背散射电子。测量了在Au、Pt、Ag和C靶中的低失能近轴背散射电子的背散射率。结果显示该探测系统比常规电镜中的探测系统具有更高的成分衬度，因此在靶成分的分析中有广阔的应用前景。

关键词：背散射电子、近轴深测、成分分析、扫描电镜

分类号：TN307(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金10045001

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：18-22,17