离子束刻蚀过程中台阶侧壁倾斜现象研究

摘要：

从标量衍射理论出发,在傅立叶光学的基础上,建立一个数学模型,分析台阶侧壁倾斜对多阶菲涅耳透镜衍射效率的影响.并通过实验,分析影响台阶侧壁倾斜、表面粗糙度和刻蚀速率的因素,确定离子束刻蚀菲涅耳透镜的最佳工艺参数.

关键词：离子束刻蚀、菲涅耳透镜、台阶侧壁倾斜、衍射效率

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：28-33