DEM技术中微复制工艺研究

摘要：

利用DEM(Deeptching,Electroforming,Microreplication)技术获得的微复制金属模具进行了微复制工艺研究.对微复制工艺参数进行了优化,在PC、PMMA和POM塑料上获得了高深宽比的微结构,并对PC、PMMA和POM和不同图形的微复制效果进行了比较.

关键词：DEM技术、微复制、微结构

分类号：TN271+.2(光电子技术、激光技术)

资助基金：中国科学院资助项目19875060;上海市教委"曙光计划"

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：61-65