光栅衍射式同轴对准系统中影响对准精度的因素分析

摘要：

对掩模,硅片同轴对准系统中影响对准精度的诸因素进行了理论分析,阐述了误差形成机理及相应的对策,以理论分析指导精度实验取得了±0.06μm(3σ)对准精度.

关键词：对准系统、精度、因素

分类号：TN305.7(半导体技术)

资助基金：中国科学院资助项目

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：45-50