全球光刻机发展概况以及光刻机装备国产化

摘要：

文章以光刻原理为引子,介绍光刻设备的系统结构,解读光刻机行业的发展概况,重点介绍光刻机装备国产化的发展之路,最后,文章提出中国半导体装备业国产化的顶层设计框架.

关键词：光刻、光刻设备、装备、国产化

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资助基金：上海工程技术大学《电子封装技术专业建设》项目;项目z201705001

在线出版日期：2018-11-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：110-111,118