微电子-机械系统传感器及其应用

摘要：

微电子-机械系统(Microelectro-mechanical system)MEMS,或曰微机电系统传感技术,已逐步应用于地球物理勘探领域.利用MEMS技术开发的新一代全数字地震传感器,其输出从直流到千赫兹范围内(如1kHz),均呈现加速度检波器的特性,且具有极低的固有噪声和畸变、直接的数字输出、高的矢量保真度和良好的低频响应.文章着重介绍MEMS的基本加工原理,基本电原理以及MEMS芯片使用安装的注意事项.

关键词：MEMS、传感器、低噪声、原理

所属期刊栏目：13

分类号：TP2(自动化技术及设备)

在线出版日期：2006-07-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：217-219,222