工业CT成像技术在霍尔电流传感器质量检测中的应用

摘要：

使用工业CT技术监测了霍尔电流传感器排针注塑体间的异物形态,并检测了二次注塑芯片中的引线弯曲、拉弧、球键合情况.通过CT图像分析,计算了针间异物的长宽尺寸,分析了形成机理,在此基础上,对排针注塑工艺进行制程改进.对分析难度大、体型微小的霍尔芯片,计算得到其注塑体内引线的弧长、弧高、弯曲角度、焊球直径等参数,进而对键合压力、烧球参数和工具做出调整,增加连接引线工艺的稳定性.使用工业CT技术提供的检测信息改善了霍尔电流传感器的制造工艺和环境,提高了器件的可靠性,提升了产品质量.

关键词：工业CT、霍尔电流传感器、无损检测、霍尔芯片

所属期刊栏目：45

分类号：TG115.28(金属学与热处理)

资助基金：浙江省公益技术研究计划项目;宁波市重大科技攻关项目

在线出版日期：2023-07-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：6-10