基于共线光外差干涉的微振动检测

摘要：

为了实现对纳米级微振动的高精度测量,在传统光外差干涉系统的基础上,设计了一种新型共线光外差干涉系统.该系统利用双声光调制器设计成结构对称的双光路,大幅削弱了环境噪声的干扰;在声光调制器后加入精密光阑滤除杂散光,消除了光学噪声;在测量光路中使用法拉第旋光器改变光的偏振态,既减少了光学器件,也使光路更易于调节.采用压电陶瓷模拟振动进行验证试验,试验结果表明,两路探测信号的幅值分别为936 mV和1.1 V,相比传统的外差干涉测量信号幅值提高约15倍,其频率均为30.12 MHz,信号波形稳定且无失真,抗噪性能大幅提升,系统分辨率为2.1 nm.

关键词：共线光外差干涉、双光路、双声光调制器、微振动检测

所属期刊栏目：44

分类号：TN247;TG115.28(光电子技术、激光技术)

资助基金：山西省自然科学基金;山西省基础研究计划项目

在线出版日期：2023-01-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：25-28,68