半导体级异丙醇的制备与检测

摘要：

随着芯片制造工艺的迅速发展和化学机械研磨技术的推广,芯片(特别是存储芯片)的堆叠层数急剧增加,对清洗和干燥的要求越来越高.异丙醇作为清洗颗粒和干燥水分的重要溶剂之一,对其性能要求也随着半导体制造工艺的发展越来越高.研究和开发高性能异丙醇成为了产业界的重要课题之一.本文介绍了工业级异丙醇的合成、半导体级异丙醇的提纯以及提纯后产品的检测.提纯主要采用精馏、重整、纳滤、离子交换等方法.最终得到的产品经检测后产品的性能优于SEMI Tier D标准.

关键词：异丙醇、精馏、重整、纳滤、离子交换

所属期刊栏目：4

分类号：TN32(半导体技术)

在线出版日期：2023-08-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：88-93