主编寄语
集成电路技术具有多学科交叉、高技术密集的特点,其技术迭代与物理、化学、电子、材料、数学、计算机、系统控制等学科领域的发展息息相关. 集成电路产业作为信息技术产业的基石,其发展关系着经济安全、信息安全乃至国防安全,是国际竞争最激烈、技术壁垒最严重的产业之一,而集成电路装备与材料又是集成电路产业的基础,其重要性不言而喻.
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2023-08-02(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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