硅基Micro-LED微显示技术研究

摘要：

硅基Micro-LED微显示技术是将自发光的LED器件与成熟的CMOS硅片结合在一起的技术,是下一代主流显示技术的热点发展方向.本文设计了一种用于Micro-LED微显示的有源驱动电路,并在该电路的基础上,结合晶圆级金金键合、深硅刻蚀、氮化镓ICP刻蚀、金属IBE刻蚀等工艺技术,制作出了硅基Micro-LED微显示器件,并能成功点亮和显示图像.其有望在AR/VR等领域实现产业运用的价值.

关键词：硅基Micro-LED、微显示、驱动电路、晶圆级键合

所属期刊栏目：3

分类号：TN(无线电电子学、电信技术)

在线出版日期：2022-11-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：32-39