Micro-LED巨量转移磁悬浮平台设计与磁路特性分析

摘要：

为解决Micro-LED巨量转移机械平台存在的摩擦力和振动不可控的缺陷,本文提出一种洛伦兹力磁悬浮平台设计方案.将平台的稳定悬浮作为设计目标,通过建立平台的三维模型,分析平台的结构特点,得到平台受力特性与稳定悬浮条件;基于等效磁路法建立平台的磁路数学模型,得到平台气隙磁密的计算公式;采用有限元法分析平台气隙处的磁场特性和电磁力特性,得到气隙处的最大磁场强度和磁密波动率.研究结果表明,本文提出的洛伦兹力磁悬浮平台的最大磁感应强度能够达到0.81 T,而磁密波动率仅为5.6％,能够满足Micro-LED巨量转移任务对平台精度的要求.

关键词：磁悬浮平台、巨量转移、等效磁路、磁密波动

所属期刊栏目：3

分类号：TN403(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：北京市自然科学基金面上项目;北京石油化工学院重要科研成果培育项目;天津市科技计划项目

在线出版日期：2022-11-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：100-105