面向异质集成的纳米修饰互连技术

摘要：

异质集成在成本和可制造性等方面具有优势,是延续摩尔定律发展的重要技术路线,片间互连技术是异质集成的关键技术之一.首先介绍了片间互连的Cu-Cu键合技术及发展概况;接着重点介绍了一种面向异质集成的具有自主知识产权的纳米修饰互连技术,并介绍了该技术的研究进展,包括纳米颗粒表面形貌的表征和分析、纳米修饰互连技术的键合机理,以及纳米修饰键合技术在窄节距晶圆级图形化中的实现;最后展望了该技术在超窄节距无凸点片间互连技术中的应用前景.

关键词：异质集成、片间互连、Cu-Cu键合、纳米修饰

所属期刊栏目：3

分类号：TN305.94(半导体技术)

在线出版日期：2022-07-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：89-97