后摩尔时代集成电路制造发展趋势以及我国集成电路产业现状

摘要：

集成电路是将电子元件依照电路互连,"集成"在晶片上,实现特定功能的电路系统.在当代,集成电路已渗透到社会发展的各个领域,是信息产业高速发展的基础和动力.在经济结构调整中,集成电路产业的战略性、先导性地位凸显,有望从根本上对制造业进行改造,在完成产业升级同时满足国家信息安全的需要.随着需求的不断提升,未来的集成电路需兼具低功耗、小尺寸、高性能等综合素质,传统工艺的改进已不足以满足这些要求.为此,集成电路制造业必须拓展相应制造技术以顺应新的发展趋势.我国集成电路产业近20年来取得了显著发展,总结了国内集成电路产业的发展历程及现状,并对未来发展进行了展望.

关键词：摩尔定律、光学邻近效应修正、鳍式场效应晶体管、良率提升、集成电路产业链、晶圆代工、集成电路专用设备、集成电路材料

所属期刊栏目：1

分类号：TN3(半导体技术)

在线出版日期：2022-11-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：57-64