串联超导量子干涉器件阵列制备与测试分析

摘要：

串联超导量子干涉器件(superconducting quantum interference device,SQUID)阵列通过增加SQUID数量来达到提升信噪比的目的,即SQUID电压信号随SQUID数目比例增加而总电压噪声正比于SQUID数目的平方根值.本文介绍了利用自主工艺线进行串联SQUID阵列研究的相关研究进展,实现了SQUID数量分别为200和800的阵列集成,测试得到磁通噪声达到(0.5μΦ0/√Hz)和输入电流灵敏度35μA/Φ0,等效输入电流噪声达到(18pA/√Hz).另外,还给出了阵列参数与集成SQUID数量的关系,验证了设计可靠性和工艺一致性.

关键词：超导量子干涉器件、磁通噪声、超导制备工艺

所属期刊栏目：70

资助基金：上海市自然科学基金批准号:18ZR1447400

在线出版日期：2021-09-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：318-323