硅基光波导开关技术综述

摘要：

硅基光波导开关技术是公认的低成本光交换技术,在电信网络、数据中心和高性能计算领域中都具有非常广泛的应用前景.本文系统综述了近年来硅基光波导开关技术研究取得的主要进展,首先对马赫-曾德尔干涉仪型、微环谐振型和微电子机械系统驱动波导型三种硅基光波导开关技术进行了介绍,并对不同原理的光开关技术的应用场景进行了总结;然后讨论了影响大端口光开关性能的关键技术,特别着重于拓扑架构、无源器件和光电封装等方面;最后对硅基光波导开关技术的技术挑战和研究方向进行了展望,其对未来硅基全光交换技术的实用化具有指导性意义.

关键词：光开关、硅光子学、光互连、光子集成

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资助基金：深圳市知识创新计划基础研究项目JCYJ20170818094001391, JCYJ20180507183815699;深圳市科技创新委员会孔雀技术创新项目KQJSCX20170727163424873;清华-伯克利深圳学院引进人才科研启动经费项目资助的课题

在线出版日期：2019-06-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共15页

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