界面合金化控制柔性Al/PI薄膜应力的研究?

摘要：

针对航天器用MEMS热控百叶窗存在的柔性薄膜应力问题,开展界面合金化控制薄膜应力技术研究。通过给柔性Al/PI薄膜体系添加中间层Sn,使其合金化,使晶格产生膨胀畸变,来引入相反的应力与已经存在的本征压应力相抗衡,可获得低表观应力的薄膜。用SEM和EDS剖面分析验证了Sn原子发生了明显的扩散现象,形成了Al-Sn合金层。这种方法可作为控制薄膜应力的一种新的技术手段。

关键词：柔性薄膜、薄膜应力、界面合金化

分类号：V25;TS1

资助基金：真空技术与物理重点实验室基金BM0501资助的课题

在线出版日期：2015-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

页码：216802-1-216802-7