高气压均匀直流辉光放电等离子体的光学特性?

摘要：

在高气压(大于100 Torr,1 Torr=1.33322×102 Pa)平板位形的均匀直流辉光放电中,一定条件下观察到平行排列的明暗相间的等离子体辉纹.结合等离子体的光发射谱诊断,研究了气体组分对等离子体光学特性的影响.研究发现,随着甲烷浓度的增加,辉纹间距减小,相应的电子激发温度降低.当甲烷浓度增加时,等离子体中低电离能的粒种增加,粒子平均电离能减小,这种情况下,电子被电场加速较短的距离所获得的能量就可以激发粒子,产生可见的光发射,表现为辉纹间距缩短.随着氩气的引入,能够观察到明显的辉纹,且增大氩气含量,辉纹间距增加,这与氩的较高电离能有关,而相应的电子激发温度增加.研究结果表明,随着工作气体的改变,等离子体辉纹间距呈现出一种对电子温度的响应.

关键词：等离子体、高气压、光学特性

资助基金：国家自然科学基金批准号:11075158,11375192资助的课题.* Project supported by the National Natural Science Foundation of China Grant .11075158,11375192

在线出版日期：2015-03-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

页码：045206-1-045206-5