硅基光栅耦合器的研究进展*

摘要：

硅基光子集成芯片的研究近年来发展迅速，已成为信息技术领域中最热门的研究方向之一，光通信、光互连、光传感等相关研发应用机构高度关注其发展，并积极介入。硅基光子集成芯片中，光栅耦合器作为光信号的输入和输出装置受到极大重视，尤其在封装和测试等环节体现出极具价值的技术优势。本文主要分析了光栅耦合器的工作原理、基本特性及国内外的发展现状和趋势，同时也概括了本课题组近期在该方向上的研究成果。

关键词：光栅耦合器、耦合效率、绝缘体上硅、光子集成

分类号：TN2;TN9

资助基金：国家重点基础研究发展计划2011CB301701;中国科学院知识创新工程重要方向项目KGCX2-EW-102;国家自然科学基金61107048,61275065资助的课题

在线出版日期：2013-10-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：254-260