基于光栅分光法的相干衍射成像*

摘要：

提出一种可以通过单次曝光实现PIE (ptychographic imaging engine)成像的方法，该方法用正交光栅将入射细光束衍射为传播方向不同的子光束簇以对样品进行照明，并用CCD同时记录各个子光束所形成的衍射光斑阵列。该方法很好地克服了现有PIE方法的成像质量易受机械扫描误差影响和数据采集时间过长两个缺点，具有很好的实用价值。

关键词：相干衍射成像、相位恢复、显微成像、迭代算法

分类号：TN2;O43

资助基金：中国科学院百人计划基金1104331-JRO资助的课题

在线出版日期：2013-10-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：192-197