ZnO：Sb薄膜的光致发光及拉曼特性研究

摘要：

利用射频磁控溅射法（MS．RF）在玻璃基片上制备了不同掺杂浓度的ZnO：Sb薄膜．借助X射线衍射仪（XRD）、透射光谱、光致发光谱（PL）和拉曼散射光谱（Raman）等手段研究了Sb掺杂浓度对ZnO薄膜的微结构、光致发光和拉曼特性的影响．结果表明：所有样品均呈现ZnO六角纤锌矿结构且具有高度C轴择优取向；在Sb掺杂ZnO薄膜的拉曼光谱中观察到位于532cm^-1的振动模式，结合XRD分析认为此峰归因于Sb替代Zn位且与0成键的局域振动模式（LVMSb--O）；光致发光谱测试发现，仅在ZnO：Sb薄膜中观察到位于3．11eV附近的紫光发射峰，结合拉曼光谱分析认为此峰与XbZn-O复合体缺陷相关．

关键词：ZnO：Sb薄膜、光致发光谱、拉曼散射光谱、局域振动模型

所属期刊栏目：61

分类号：O472.3(半导体物理学)

资助基金：重庆师范大学博士基金10XLB022资助的课题

在线出版日期：2013-04-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：490-495