128×128InSb探测器结构模型研究

摘要：

热冲击下红外焦平面探测器的高碎裂概率制约着其成品率．为明晰碎裂机理，基于等效设想，利用小面阵等效大面阵解决了128×128面阵探测器三维结构建模所需单元数过多的问题，同时综合考虑材料线膨胀系数的温度依赖性、材料强度的各向异性、表面加工损伤效应，合理选取InSb材料性能参数，建立起128×128面阵探测器结构有限元分析模型．模拟结果表明：热冲击下最大Von Mises应力值出现在N电极区域，其极值呈非连续分布，这意味着热冲击下128×128面阵探测器的裂纹起源于N电极区域，且不止一条．上述结论与碎裂统计分析报告中典型裂纹起源地及裂纹分布这两方面相符合，这为后续面阵探测器碎裂诱因的研究及结构可靠性设计提供了切实可行的研究思路．

关键词：焦平面、锑化铟、结构应力

所属期刊栏目：61

分类号：TN215(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金青年科学基金61107083;航空科学基金20100142003资助的课题

在线出版日期：2012-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：111-116