高压射频等离子体增强化学气相沉积制备高效率硅薄膜电池的若干关键问题研究

摘要：

报道了采用高压射频等离子体增强化学气相沉积（RF-PECVD）制备高效率单结微晶硅电池和非晶硅/微晶硅叠层电池时几个关键问题的研究结果,主要包括：1）器件质量级本征微晶硅材料工艺窗口的确定及其结构和光电性能表征;2）孵化层的形成机理以及减小孵化层的有效方法;3）氢稀释调制技术对本征层晶化率分布及其对提高电池性能的作用;4）高电导、高晶化率的微晶硅p型窗口层材料的获得,及其对减小微晶硅电池p/i界面孵化层厚度和提高电池性能的作用等.在解决上述问题的基础上,采用高压RF-PECVD制备的单结微晶硅电池效率达8.16%,非晶硅/微晶硅叠层电池效率11.61%.

关键词：高压射频等离子体增强化学气相沉积、微晶硅、孵化层、氢稀释调制

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分类号：O484(固体物理学)

资助基金：国家重点基础研究发展计划2011CBA00705;2011CBA00706;2011CBA00707;国家高技术研究发展规划2009AA050602;江苏省微纳生物医疗器械设计与制造重点实验室开放基金JSNB1201001

在线出版日期：2012-05-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：493-498