纳米VO_2/ZnO复合薄膜的热致变色特性研究

摘要：

为提高VO2薄膜的热致变色性能,采用纳米结构和复合结构二者相结合的方法,通过磁控溅射技术先在玻璃衬底上制备高（002）取向ZnO薄膜,再在ZnO层上室温沉积钒金属薄膜,最后经热氧化处理获得纳米结构VO2/ZnO复合薄膜.利用变温拉曼光谱观察分析了VO2/ZnO薄膜相变前后的晶格畸变和键态的演变过程,讨论了薄膜的结构与热致红外开关特性和相变温度的内在关系.结果显示,与相同条件获得的同厚度的单层VO2薄膜相比,纳米VO2/ZnO复合薄膜具有高（002）取向,相变前后的红外透过率差值增加2倍,热滞宽度收窄约5℃,相变温度降低约8℃.研究结果表明这种纳米复合薄膜既可显著增强VO2薄膜的红外光开关调制能力,同时又能明显降低薄膜的相变温度.

关键词：ZnO、VO2、纳米复合薄膜、热致变色、拉曼光谱

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分类号：TN304.26(半导体技术)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2006AA03Z348;教育部科学技术研究重点项目207033;上海市教育委员会科研创新重点项目10ZZ94;广东省自然科学基金10152902001000025;上海市研究生创新基金JWCXSL1001;上海市重点学科S30502

在线出版日期：2012-04-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：689-694