磁过滤器电流对非晶碳薄膜摩擦学特性影响的研究

摘要：

研究了过滤阴极真空电弧技术中,不同的磁过滤器电流下(5-13 A),制备的四面体非晶碳(ta-C)薄膜对摩擦学特性的影响.通过对薄膜厚度,薄膜结构以及薄膜表面粗糙度随磁过滤电流的变化结果进行了测试,结果表明,随着磁过滤器电流的增大,薄膜的sp3键含量逐渐减少,表面粗糙度从0.13增大到0.38.磁过滤器电流在5 A时,薄膜的摩擦系数最小约为0.08,当电流增大到7 A时,摩擦系数显著增大,磁过滤器电流从7 A增大到13 A时,薄膜的摩擦系数再次减小约为0.1.

关键词：四面体非晶碳、过滤阴极真空电弧、磁过滤器电流、摩擦系数

所属期刊栏目：60

分类号：O484.2(固体物理学)

资助基金：陕西省"13115"科技创新工程重大科技专项项目计划2009ZDKG-29

在线出版日期：2011-07-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：530-534