电子回旋共振等离子体密度均匀性的数值研究

摘要：

基于漂移扩散近似,在轴对称假设下,对电子回旋共振等离子体源腔室内的等离子体建立了二维流体模型.采用有限差分法对所建立的模型进行了自洽数值模拟,得到了等离子体密度均匀性随时间演化的数值结果.通过对数值结果的分析,研究了背景气体压强、微波功率和磁场线圈电流对等离子体密度均匀性的影响.研究表明,在电离初期,电子密度的均匀性好于离子密度的均匀性.在电离后期,离子密度的均匀性好于电子密度的均匀性.随着背景气体压强的增大,电子密度和离子密度的均匀性都在增加,且离子密度的均匀性增加的更快.随着微波功率的增大,电子密度和离子密度的均匀性几乎以相同的速率在增加.随着磁场线圈电流的增大,电子密度和离子密度的均匀性几乎以相同的速率在增加.但是,当磁场线圈电流足够大以后,电子密度和离子密度的均匀性几乎以相同的速率在减小.

关键词：等离子体密度均匀性、背景气体压强、微波功率、磁场线圈电流

所属期刊栏目：60

分类号：O53(等离子体物理学)

在线出版日期：2011-07-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：359-364