大面积表面波等离子体源微波功率吸收的数值模拟研究

摘要：

建立了大面积矩形表面波等离子体(SWP)源全尺寸的三维模型,用数值模拟的方法研究了SWP源基于碰撞的功率吸收问题,给出了随等离子体参数变化的微波反射率曲线,分析了不同天线对微波功率沉积的影响,并讨论了微波功率吸收和表面波的定性关系.结果发现,均匀放电的SWP源功率沉积本质是由表面波等离子体的性质决定的,等离子体密度太大或太小都不利于功率吸收.在正常工作气压下,SWP源通过碰撞机理即可以实现微波功率的有效沉积,微波吸收率可达80%以上,与已有实验相符.本研究同时发现,天线阵列激发的表面波模式越紧凑,强度越大,越有利于微波的吸收.

关键词：时域有限差分法、等离子体表面波、功率吸收、狭缝天线

所属期刊栏目：60

分类号：O53(等离子体物理学)

在线出版日期：2011-06-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：439-444