NiTi合金薄膜厚度对相变温度影响的X射线光电子能谱分析

摘要：

采用X射线衍射和X射线光电子能谱实验手段对不同厚度的NiTi薄膜相变温度的变化进行了分析.结果表明在相同衬底温度和退火条件下,3 μm厚度的薄膜晶化温度高于18 μm厚度的薄膜.衬底温度越高,薄膜越易晶化,退火后薄膜奥氏体相转变温度As越低.薄膜的表面有TiO2氧化层形成,氧化层阻止了Ni原子渗出;膜与基片的界面存在Ti2O3和NiO.由于表面和界面氧化层的存在,不同厚度的薄膜内层的厚度也不同,因而薄膜越薄,Ni原子的含量就越高.Ni原子的含量的不同会影响薄膜的相变温度.

关键词：NiTi合金薄膜、X射线衍射、相变、X射线光电子能谱

所属期刊栏目：58

分类号：O4(物理学)

资助基金：哈尔滨工程大学科研启动金资助项目HEUFT08035;国家博士后科学基金20060390432;黑龙江省博士后科研启动资助项目LBH-Q08123

在线出版日期：2009-06-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：2742-2745