镁含量和热处理对Zn1-xMgxO薄膜结构和发光性能的影响

摘要：

采用溶胶-凝胶工艺在玻璃衬底上制备了Zn1-xMgxO(x=0.1,0.2,0.3,0.4,0.5,0.6,0.7)薄膜.X射线衍射谱(XRD)测试结果发现,在0.1<x<0.3范围内,薄膜仍然保持氧化锌六角纤锌矿结构,(00 2面衍射峰位向大角度方向移动,超过0.3时出现氧化镁立方相.对镁含量为0.1,0.2,0.3薄膜的光致发光谱研究表明:紫外发光峰随镁含量的增加向短波方向移动.对于Zn0.9Mg0.1O薄膜,在5,5.5和6℃/min的升温速率下,升温速率越快结晶程度越好.在相同升温速率下,随着退火温度从500℃升高到560℃,样品的结晶程度变好,当退火温度达到590℃时,结晶质量下降.

关键词：氧化锌、结构、禁带宽度、光致发光谱

所属期刊栏目：57

分类号：O6;O4

在线出版日期：2009-01-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：6614-6619