多层膜外退火方法制备MgB2超导薄膜

摘要：

报道了利用电子束蒸发的Mg/B多层膜作为前驱体,然后退火制备MgB2薄膜的工作.实验中发现,采用翻转膜面的退火处理方式可以有效地避免降温过程中Mg蒸气在薄膜表面形成的颗粒凝结,由此稳定地实现了面积为10 mm×10mm,均匀、平整的超导薄膜的制备,Tc达35 K,转变宽度为0.8 K,在5 μm×5 μm的区域内薄膜的平均粗糙度小于10 nm.为了便于后续器件制作过程中的微加工工艺,研究了膜厚小于1000 (A)时薄膜的成相规律,发现当样品厚度减薄后,Te会有明显降低.通过调整前驱薄膜中的不同分层厚度,仍可实现转变温度达30 K以上、厚度约600 (A)的MgB2薄膜,在20 K时的临界电流密度为2.4×106 A/cm2.

关键词：MgB2薄膜、外退火、超导成相、表面形貌

所属期刊栏目：56

分类号：TG1(金属学与热处理)

资助基金：国家重点基础研究发展计划973计划2006CB601007;高等学校博士学科点专项科研项目

在线出版日期：2007-03-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：512-517