真空中微波等离子体喷流电子数密度分布规律实验研究

摘要：

为了准确诊断真空中微波等离子体喷流的电子数密度,利用统一的发射和单郎缪尔探针测量等离子体的空间电位,再测量等离子体的电流-电压特性曲线.根据空间电位测量结果,在等离子体的电流-电压特性曲线上能准确地获取饱和电流,从而处理出电子数密度.最后的诊断实验表明,当真空环境压强为2-6 Pa、等离子体发生器以60W以下的微波功率击穿流量范围是42-106 mg/s的氩气时,所产生的微波等离子体喷流中电子数密度分布在1×1016-7.2×1016/m3范围内.

关键词：等离子体诊断技术、等离子体基本过程、等离子体基本特性

所属期刊栏目：56

分类号：O53(等离子体物理学)

资助基金：国家自然科学基金10575081

在线出版日期：2007-03-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：366-370