电荷非平衡super junction结构电场分布

摘要：

建立了电荷非平衡情况下super junction(SJ)耐压结构的二维电场分布理论模型.获得了浓度和宽度非平衡、梯形n-/p-区和横向线性缓变掺杂三种非平衡SJ结构的电场分布.理论分析结果与二维器件数值仿真软件MEDICI的仿真结果符合良好.虽然给出的电场分布为三角级数形式,但仍能从中获得很多重要信息.特别地,由此可求出非平衡SJ结构的峰值电场和耐压.该结果有助于对SJ结构的深入分析.

关键词：superjunction、电场分布、电荷非平衡

所属期刊栏目：55

分类号：O4(物理学)

在线出版日期：2006-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：3656-3663