Ni-Zn铁氧体薄膜的结构和磁性

摘要：

采用交替溅射方法制备了Ni-Zn铁氧体薄膜,并研究了薄膜成分和制备条件例如热处理温度、氧分压、膜厚、衬底层等因素对Ni-Zn铁氧体薄膜的影响.实验表明沉积态薄膜为非晶态,经大气中不同温度热处理后得到了尖晶石结构,其主峰为(311)峰.另外,通过不同条件对Ni-Zn铁氧体薄膜的研究,找到了合适的Ni-Zn铁氧体薄膜的制备条件.

关键词：薄膜、Ni-Zn铁氧体、交替溅射

所属期刊栏目：53

分类号：O4(物理学)

在线出版日期：2004-12-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：3550-3554