基于透射谱的GaN薄膜厚度测量

摘要：

通过对蓝宝石衬底异质外延GaN薄膜光学透射谱的分析,结合晶体薄膜的干涉效应原理并考虑折射率随光子波长变化的影响,从理论上推导出了实用的薄膜厚度计算方法.实际应用表明,该方法是一种快速准确的GaN薄膜厚度测量方法.

关键词：GaN、透射谱、厚度测量

所属期刊栏目：53

分类号：O4(物理学)

资助基金：国防预研基金415010701;国家重点基础研究发展计划973计划2002CB3119

在线出版日期：2004-06-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1243-1246